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半导体材料
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芯片制造
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制版和干膜
风量或风速:对于单向流洁净室,应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,并应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格,每个栅格尺寸应为600mm×600mm或末端空气过滤器尺寸,测点应在栅格中心或不应少于3点。每一点的测试时间不应少于10s。应记录平均值、最大值和最小值,并应以算术平均值作为平均风速。采用风口法、风管法、风罩法等测量送风风速确定送风量,每个测试位置的测点数不应少于3点。
静压差:静压差的测定应在所有的门关闭时进行。仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从最里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。
尘埃粒子数:应使用采样量大于11/mm光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。
温湿度:温度、相对湿度的检测应在洁净室(区)内气流分布均匀状态测试,并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度、相对湿度检测应在净化空调系统已经运转,并应至少稳定运行1.0h后进行。相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格,每格最大面积应为100m²,应每格一个测点,但每个房间不应少于2个测点。检测用探测器应设在洁净室(区)内的工作高度,且距洁净室(区)的吊顶、墙和地面不应少于300mm。并应考量洁净室(区)内可能存在的热源的影响。检测时间应至少1.0h,并应至少6min 进行1次(30s)读数、记录。
噪声:洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。 洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1~1.5m,距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分,宜每100m2设一检测点。
照度:洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。照度检测点应设在工作高度,宜距地面0.85m,应每25m2 设一个测点。
自净时间检测:自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测。
威科检测集团洁净环境检测服务领域:
服务领域 | 检测项目 | 检测标准 |
电子无尘车间 | 悬浮粒子、温度、相对湿度、静压差、平均风速、噪声、照度、换气次数、高效过滤器检漏、微振、气流流型、自净时间、防静电检测 | GB 50472 |
实验室洁净区 | 悬浮粒子、温度、相对湿度、静压差、浮游菌、沉降菌、换气次数/平均风速、噪声、照度、密闭性测试(P3以上实验室需要测试) | GB 50346 |
食品洁净车间 | 悬浮粒子、温度、相对湿度、静压差、浮游菌、沉降菌、换气次数/平均风速、噪声、照度、生产用水、物体表面微生物、员工表面微生物、紫外线灯强度 | GB 50687 |
制药车间 (GMP车间) | 悬浮粒子、温度、相对湿度、静压差、浮游菌、沉降菌、换气次数/平均风速、噪声、照度、生产用水、物体表面微生物、员工表面微生物、紫外线灯强度 | GB 50457 |
医疗器械车间 | 悬浮粒子、温度、相对湿度、浮游菌、沉降菌、表面微生物、换气次数/平均风速、静压差、噪声、照度 | YY 0033 |
医院受控环境 | 洁净手术室/病房:悬浮粒子、温度、相对湿度、浮游菌/沉降菌、换气次数/平均风速、静压差、噪声、照度(室内空气五项:甲醛、TVOC、苯、氨、氡) | GB 50333 |
一般手术室/病房:空气菌落、表面菌落、医务人员手表面菌落数、医疗器械菌落数、紫外线灯强度 | GB 15982 | |
化妆品车间 | A.洁净区:悬浮粒子、温度、相对湿度、静压差、浮游菌、沉降菌、换气次数、生产用水检测 | YY 0033 |
消毒产品车间 | A.洁净区:悬浮粒子、沉降菌、浮游菌、温度、相对湿度、照度、静压差、换气次数、空气中细菌总数 | |
生物安全柜 | 扫描检漏、风速、风量、空气洁净度、沉降菌浓度、噪声、照度振动幅值、气流状态、紫外灯辐照强度等 | GB 16292 |
超净工作台 | 噪声、引射作用、扫描检漏、振动幅值、气流状态、沉降菌浓度、照度、空气洁净度、进风风速、风速、风量等 | |
兽药车间检测 | 必测项目:换气次数、新风量、温度、相对湿度、照度、噪声、风速不均匀度、静压差、悬浮粒子、自净时间、过滤器检漏、静压差、严密性、气密性等 | GB 50591 |
GB 50472-2008 |